怀念王守武院士

孙崇义

　　摘要： 

　　王守武一生光明磊落，是新中国成立后回国较早的爱国人士。他在国外享有优厚的待遇，获博士学位后留普渡大学执教。但他却有着拳拳赤子心、殷殷爱国情，在朝鲜战争爆发后历时四个多月才回到祖国母亲的怀抱，开启了为祖国效力的生涯。几十年来，王先生就像一台不愿停歇的机器，为半导体事业发展解决诸多难题，为半导体器件及大规模集成电路研究做出重大贡献，在中国半导体学界享有崇高威望。

　　每当我到所里办事，走到净化厂房南门，都会情不自禁地向南小花园张望。那里有王守武院士的一尊铜像，我会向他行注目礼。他的音容笑貌又浮现在我的眼前，四十多年前的一幕幕仿佛就发生在昨天……

　　1980年春节刚刚过去，人们还沉浸在节日的喜庆之中。王守武先生带着大规模集成电路的推广、提高成品率和降低成本、开展大生产试验等诸多任务，到109厂(中国科学院微电子研究所前身)就任厂长。

　　任厂长伊始，王先生便深入每个车间、班组、工位进行调查研究，提出一整套工艺流程和改进措施，对工艺线的每道工序进行认真周密的检查，对一件件、一台台所用的仪器设备进行仔细检修，有时亲自钻到设备下面查看线路、更换元件，对改造和升级高纯水、试剂、超纯气体、光刻胶、超微粒干版、版基玻璃等基础材料，都一一进行规范测试，使之达到产品所需的质量要求。

　　成立理化室，选拔强有力的专业人员、党务工作者组成领导班子;抽调试剂分析人员成立检测组;建立高纯水站、高纯气站，两个站都安排化学或给排水毕业的专业人才，负责技术工作。

　　对于老水站的设备升级改造和新水站的设备选材，王先生立足国产品牌，没有被当时的引进潮左右，只根据实际情况引进一台反渗透设备和一台超滤设备。他在实际工作中摸索出一整套清洗、安装、操作工艺，制定严格的规章制度，这些都记录在案，有据可查。

　　在纯水设备安装初期，王先生亲自下到班组，和大家一起商量、布置任务，定下要求。

　　对纯水设备所需材料进行市场调研，全面了解、分析对高纯水影响最小的材料。王先生安排大家分头走访了北京塑料七厂、大兴聚丙烯材料厂、燕山石油化工厂、天津聚丙烯管件厂、天津过滤器厂、德胜门有机玻璃厂等厂家，了解各种塑料的性能、特点、参数及抗老化数据，索取产品样本，买回一些样品，一一进行对比试验，在条件保证一致的情况下，得出相应数据。经过对照，选定聚丙烯管件是制备高纯水比较理想的材料，对水影响指数最小，并且聚丙烯耐高温、无毒、无味、半透明、有韧性、管件齐全。

　　109厂高纯水改建安装有其独到之处。

　　管道、管件、交换柱在安装前必须彻底清洗，选择防腐清洗槽(160毫米x5000毫米聚丙烯管道焊接而成)，先用清水、毛刷把所用件清洗干净，再用一定量的盐酸、氢氧化钠稀释剂，分别将其浸泡一定时间，用清水清洗干净，再用清水浸泡一定时间，反复清洗，捞出晾干，密封两头，用塑料布包好待用。

　　化学药品要严格把关，通过检测组测试合格后方能使用。有机玻璃交换柱外包玻璃钢，也是王先生和109厂有关同志的一大发明。当时新水站的设计能力为每小时产45吨高纯水，交换柱设计要求为选择直径800毫米X2500毫米交换柱20多根。大家也没见过这么大的交换柱，能否承受所需压力?经过集思广益，有人提出有机玻璃交换柱外包树脂玻璃钢，增加材料强度和抗压力。实践证明，此方案是一项创新和发明，给国产高纯水设备增加了新的成员。

　　在高纯水设备安装中，有几个记忆犹新的小故事和大家一起分享。

　　塑料加工少不了焊接。有一次王先生到水站看设备安装进度，我正在焊接塑料管道。他看了一会，发现我焊的管道有点缺陷，让我歇一会。他接过焊枪，蹲下焊起来，看那架势绝不是外行，焊点焊得有模有样，平整牢固。他教我怎样掌握焊枪的角度及焊条和管道距离，从焊枪的温度控制到风力的大小，讲得头头是道。我照王先生教的方法试了试，效果果然不错。当时他已经60多岁了，像这种小事也这样精通，还亲力亲为，说明王先生是一个理论水平很高、动手能力很强的实干家。他用自己的真才实学、实际行动，教诲我们这些晚辈，让我认识到学无止境、干到老学到老，对我的影响很大，使我受益匪浅。

　　一次老厂房为纯水设备改造升级，也是为新水站安装进行练兵，摸索经验。对于水箱改造，因为用的是密封的旧水箱，我认为清洗后可以直接用。王先生则要求把水箱清洗得更干净，不留死角，不给水质达标留下隐患。他要求把水箱改造加工成带盖敞口水箱，用乳胶海绵和不锈钢螺丝加固密封。这样看起来是麻烦一些，但更容易清洗，操作起来更方便。

　　工作中难免有不同意见，但王先生更愿意和大家一起讨论，取得共识，不会把自己的意见强加于人，总是动之以情、晓之以理，讲清事实，摆明道理。王先生严谨的工作态度让人佩服，和他交往，你总感觉像和朋友在一起，有话可直说，无须拐弯抹角。他又是一位受人尊敬的师长，让你在成长过程中少走弯路。

　　还有一次在六楼安装电渗析。六楼是厂房顶层，装一台2吨重电渗析的确是一个大问题。是否需要加工字钢梁?领导先让我们讨论，我和技术员产生了分歧。技术员认为必须要加工字钢梁，理由是:楼是招待所改建的厂房，每平方米只能承受300公斤压力，考虑安全应该加。我认为楼顶原本有一个20吨的水箱已拆除，设计时肯定考虑过承重问题，况且楼下每隔1米就有一根水泥梁，安全不成问题。我俩争论不休，各摆各的理由，最后报告领导。领导找来王先生一起查看现场，又询问了相关专业人员，然后大家坐下来一起讨论，取得共识，最后决定不加工字钢梁。通过这件事我认识到，这可能是领导的一种工作方法，走群众路线，让大家在实际工作中对事物有客观认识;又是一个掌握多面知识的过程，达到认知一致，工作起来得心应手，心情愉快。这也让我体会到，办事不能急躁，待人处事应该稳重。

　　王先生一生光明磊落，是新中国成立后回国较早的爱国人士。他在国外享有优厚的待遇，获博士学位后留普渡大学执教，组建温馨家庭，过着宁静舒适的生活。但他却有着拳拳赤子心、殷殷爱国情，在朝鲜战争爆发后为报效祖国而决定回国。经过艰苦斗争、曲折路途，他历时四个多月才回到祖国母亲的怀抱，开启了为祖国效力的生涯。几十年来，王先生就像一台不愿停歇的机器，为半导体事业发展解决诸多难题，为半导体器件及大规模集成电路研究做出重大贡献，在中国半导体学界享有崇高威望，是名副其实的半导体物理学家、微电子学家。他以发展中国半导体科学事业为己任，兢兢业业为之奋斗了一生。

　　王先生平易近人，没有一点专家的架子。工作闲暇时，他经常和职工唠唠家常，聊聊生活琐事，就像邻里长辈那样和蔼可亲。我似乎没见过先生发脾气。他总是面带笑容，遇问题耐心解释，阐明理由，让你心悦诚服。他对工作严谨认真，一丝不苟，实验数据容不得半点差错。他淡泊名利，从来不为自己的名誉地位考虑，一位61岁的老人、中国科学院院士，工作需要时照样下基层当厂长，并取得重要成绩。先生的口碑赢得全厂职工的爱戴和敬重，先生的学生桃李满天下，有的在重要岗位担任领导职务，有的在半导体领域微电子专业成为学科带头人。

　　王先生在担任109厂厂长五年多的时间里，使大规模集成电路批量生产，摸索出可喜的经验，成品合格率不断提高，达到40%的成品合格率，这在当时的国内是绝无仅有的。109厂在科学春天的百花园里，沐浴着和煦的阳光，结出丰硕成果，给109厂历史留下浓墨重彩的一笔。1985年，王先生获中国科学院科学技术进步奖二等奖，他领导的109厂也发展成为微电子中心、微电子研究所。

　　王先生虽已离开我们多年了，但他给半导体事业留下的宝贵财富，给微电子人留下的可贵精神，是我们享用不尽的。他所倡导的勤勤恳恳做事、老老实实做人的人生态度，是微电子人始终铭记的座右铭。王先生的人格魅力影响着每一个微电子人。和发达国家相比，我们的微电子关键技术还比较落后，我们唯有奋起直追，解决“卡脖子”的技术难题，用聪明才智实现前辈的夙愿，把中国科学院微电子研究所建设成现代化国家队，成为攻克尖端的排头兵。

　　请祖国和先辈放心，我们有中国共产党的正确领导，有社会主义优越制度，有跨越“两个一百年”的奋斗目标，有前辈留下的精神财富和实践经验，我们响亮地回答:中华民族伟大复兴的中国梦一定能够实现，微电子研究所一定会跨上新高峰。

　　注：孙崇义，77岁，中国科学院微电子研究所高级工程师。

　　源自：《我心向党 科学报国 - 科学家精神在这里闪光》，科学出版社，2021